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공동활용 연구장비

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접촉식 측정기

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Stylus Profiler system

  • 모델명 Dektak XT
  • 제조사 Bruker
  • 장비용도 시험
  • 장비구분 물리적측정장비 > 길이/위치/자세측정장비 > 위치/자세측정장비

상세정보

구축일자 2013-11-14
납품업체 Bruker
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1번지 광주과학기술원 신소재공학부 F1 104
구성및성능 Step Height Repeatability:
<5 A 1sigma on nominal 1000A vertical step height standard
Sensor Support:
Low noise Single-Arch design
Sensor Type:
Thermally stable LVDT sensor (Linear Variable Differential Transformer) provides up to 1 Angstrom vertical resolution
Single Sensor Design:
All-in-one sensor that enables scans at large vertical range (up to 1mm)
Stylus Exchange:
Stylus held in sensor magnetically with kinematic mount (Quick-Change stylus replacement fixture included)
Scan Drive:
Self-tensioning belt driven scan stage references the same portion of glass optical flat (polished to Lamda over ten) to provide a baseline stability of <1000 Angstroms on 50mm scan
Data Processor:
High speed 64 bit parallel processor and Windows 7 interface
Video Microscope:
High-definition 3.1 megapixel color video microscope views sample surface at 45 degree angle enabling stylus to stay in view during the scan (digital zoom from 1-4mm FOV).
Stylus size:
User selectable stylus tip (one tip included either 2um or 12
장비안내 Stylus Profiler 샘플에 접촉하여 나노 단위의 단차를 측정하는 설비로써 박막(Thin Film)의 단차 측정 및 신재생 에너지 분야인 LED OLED Solar Cell 과 MEMS 구조물 및 눈으로 볼 수 없는 Nano 단위의 단차 측정 장비입니다.

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