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공동활용 연구장비

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엑시머 레이저 장비

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Coherent's Excimer Laser System

  • 모델명 COMPexPro 205F
  • 제조사 Coherent
  • 장비용도 분석
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 결정화장비

상세정보

구축일자 2013-12-10
납품업체 Coherent
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 신소재공학동 F5 505
구성및성능 - Wave length : 248nm
- Pulse energy : 700mJ
- Maximum repetition rate : 50Hz
- Average power : 30W
- Energy stability (1sigma) (%) : 1
- Pulse duration (ns) : 25
- Beam dimension (Vertical X Horizontal) (mm2) : 24X10
- Beam divergence (Vertical X Horizontal) (mrad2) : 3X1
장비안내 박막 증착의 한 방법인 pulsed laser deposition을 위한 레이저 source입니다. 레이저 source에서 trigger된 파장 248nm 영역의 UV laser beam이 광학 렌즈를 통해 focusing된 후 진공 챔버 안의 세라믹 타겟을 ablation하여 plasma plume을 형성시킨 뒤 이를 기판에 전사시켜 박막 형태로 물질을 증착시킬 수 있습니다.

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