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공동활용 연구장비

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써멀 척

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Thermal chuck

  • 모델명 ETC-200L
  • 제조사 Espec
  • 장비용도
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 열유체장비 > 달리분류되지않는열유체장비

상세정보

구축일자 2013-04-26
납품업체 Espec
위치 F2
구성및성능 본 장비를 도입하게 되면 - 60 ~ 200 deg. C 의 온도 조절이 가능해진다. 또한 offset current는 이러한 장비의 가장 중요한 특성 중에 하나인데, 본 장비는 20fA의 매우 낮은 값을 유지할 수 있기에, 이와 같은 장비를 이용하면 전자 소자의 전기적 특성을 정밀하게 분석할 수 있다.
장비안내 Thermal chuck은 프로브 스테이션에 장착되어 프로브 스테이션을 이용시에 온도를 조절할 수 있도록 하는 장비로써, 전자 소자의 전기적 특성의 온도 경향을 확인하기 위한 가장 중요한 장비이다.

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