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공동활용 연구장비

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원자현미경

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Atomic force microscope

  • 모델명 NX10
  • 제조사 ㈜파크시스템스
  • 장비용도 시험
  • 장비구분 광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사탐침현미경

상세정보

구축일자 2013-06-24
납품업체 ㈜파크시스템스
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 금호연구관 B1
구성및성능 분석의 시간적인 제약과 샘플준비의 한계로 인해서 타 연구실 장비사용에 어려움이 많았지만 본 장비의 구매를 통해서 여러 가지 제약없이 폭 넓은 연구를 진행할 수 있을 것으로 생각되며 기본적인 AFM의 용도(표면 분석) 이외에도 추가적인 option의 구매를 통해서 본 연구실에서 다뤄지는 반도체/dielectric 물질 graphen PVDF 그리고 MoS2 등과 같은 여러 물질의 특성 파악이 가능하다. 특히 추가 구매하는 PFM의 경우 piezo 물질 연구에 반드시 필요한 d33 값 측정은 물론 dipole을 정렬하는 poling 공정을 진행할 수 있어서 piezo 물질 연구에 도움이 될 것으로 판단된다.
장비안내 교차간섭 제거를 통한 정확한 원자현미경 이미징
- 시료와 팁에 2개의 독립된 플랙셔 스캐너를 사용하여 가장 뛰어난 XYZ 스캔 선형성
- 전체 XY 스캔 범위에서 1nm 미만의 가장 우수한 평면 외 움직임
- 0.015% 미만의 Z 스캐너 선형성
- 예측형 사인 스캔 알고리즘으로 XY 스캐너 진동 감소

완전 비접촉 모드로 정확한 원자현미경 이미징
- 업계에서 가장 높은 9kHz 이상의 Z 스캐너 대역폭과 팁 속도 62mm/초 이상의 Z 서보 속도
- 비접촉 모드 이미징 시 가장 빠른 스캔 속도
- 팁 마모를 줄여 장시간 동안 고해상도로 측정 가능
- 시료 손상 또는 변형 최소화

실시료 형상기술로 정확한 원자현미경 측정
- 업계에서 가장 우수한 저 노이즈 Z 검출기로 시료 표면 형상 측정
- 업계에서 가장 우수한 0.15% 미만의 왕복 시 스캔 간격
- 열 특성이 동일한 부품으로 제작하여 시스템 표류도 및 히스테리시스 최소화
- 진동 차폐함을 통한 능동 온도 조절

NX 사용자 생산성
- 측면으로부터 팁과 시료에 폭넓게 접근하여 손쉽게 팁 교환 가능
- 사전 정렬된 팁 장착부와 특허를 획득한 직접 관찰 광학 장치로 손쉽고 직관적인 레이저 정렬 가능
- 10초 이내에 빠르게 자동으로 시료 표면에 팁 접근
- 3개의 내부 락인앰프 Q 제어 및 스프링 상수 캘리브레이션 기능을 갖춘 24비트 디지털 전자회로

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