Research Hub

대학 자원

대학 인프라와 자원을 공유해 공동 연구와 기술 활용을 지원합니다.

공동활용 연구장비

20130426000000162750.jpg

프로브 스테이션

상담·문의하기

Probe station

  • 모델명 Summit 12000
  • 제조사 Cascade Microtech
  • 장비용도 시험
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 프로브스테이션

상세정보

구축일자 2013-04-26
납품업체 Cascade Microtech
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 신소재공학동 F2 204
구성및성능 1) Substrate : 200 mm
2) Temperature range : -60 ~ 250 deg. C
3) Ambient control : N2 O2
4) Low offset current : ~ 20fA
5) Semi-auto system
장비안내 Probe station은 반도체 소자들에 전기적 신호를 인가 및 확인이 가능하도록 전기적 연결을 하는 장비로써 MPG (metal/piezo/graphene) 구조로 구성된 터치 소자의 전기적 특성 분석에 필요한 시스템이다. 본 장비를 도입하게 되면 작게는 1인치부터 크게는 8인치 크기의 대구경 반도체 소자를 분석할 수 있게 된다. 그래핀으로 구성된 터치 소자의 경우 ambient에 영향을 받기 때문에 ambient를 조절하며 특성 분석을 할 수 있는 시스템이 구축되어야 한다. 이와 같은 장비를 이용하면 터치 소자의 전기적 특성을 정밀하게 측정 할 수 있으며 또한 온도 및 ambient를 조절할 수 있어 반도체 소자의 다양한 특성을 분석할 수 있다.

목록보기