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공동활용 연구장비

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정밀 이온빔 밀링기(냉각 스테이지)

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Cooling stage for PIPS(Precision Ion Polishing System)

  • 모델명 691
  • 제조사 Gatan
  • 장비용도 기타
  • 장비구분 화합물전처리/분석장비 > 반응/혼합/분쇄장비 > 분쇄/파쇄기

상세정보

구축일자 2012-12-27
납품업체 Gatan
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 신소재공학동 F1 103
구성및성능 - Ion Guns: Two Penning ion guns with miniature rare earth magnets
- Rotation: Variable from 1 to 6 rpm
- Milling Angle: +10° to -10° Each gun independently adjustable
- Sample Size: 3mm or 2.3mm
- Vacuum Pressure: 5E-6Torr base pressure 8E-5Torr operating pressure
- Cooling Stage: -180℃~ +100℃
장비안내 TEM sample 제작 시 일반적으로 많이 사용하는 정밀 이온빔밀링기이다. 분석하고자 하는 device를 sample statge에 올린 후 적절한 각도 및 이온 에너지 조건에서 일정 시간동안 밀링하여 제작한다. 또한 시료를 저온상태로 유지시켜주어 좀 더 정밀한 milling이 가능하도록 liquid nitrogen cooling stage 옵션을 추가하였다.

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