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공동활용 연구장비

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초정밀 레이저 연마 시스템

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Precision laser polishing system

  • 모델명 DIAMOND C-55L
  • 제조사 Coherent
  • 장비용도 분석
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 성형/가공장비 > 레이저가공기

상세정보

구축일자 2012-11-30
납품업체 Coherent
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 고등광기술연구소 F1 101호
구성및성능 ....................................................................................................
장비안내 이 장비는 CO2 laser를 이용하여 초정밀 국소연마를 하는 장치 이다.
Galvamometer를 이용하여 광섬유 끝단 면을 X축 Y축의 mirror를 컨트롤 하여 원하는 형상을 가공할 수 있으며
또한 vision을 이용하여 광섬유의 가공 형상을 측정 할 수 있다.
이러한 특성을 이용하여 반도체 유전체 및 금속등의 다이싱 스크라이빙 드릴링 뿐만 아니라 반도체 디스플레이
각종 광회로 소자등의 마스크 리페어 및 바이오 기술 등에 응용이 가능하다.