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공동활용 연구장비

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고 분해능 원자탐침형 스캐너

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High resolution AFM scanner

  • 모델명 ASC500 ANC350
  • 제조사 Attocube Systems
  • 장비용도
  • 장비구분 광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사탐침현미경

상세정보

구축일자 2012-05-07
납품업체 Attocube Systems
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 신소재공학동 F5 506호
구성및성능 스캐너는 크게 xy 방향으로 움직이는 피에조 모터와 z축 방향으로 움직이는 피에조 모터로 나누어진다
스캐너는 x,y 방향으로 수 나노의 분해능을 가지며 최대 이동 거리는 55um 이고, z 축방향으로는 수 나노의 분해능을 가지며 최대 이동거리는 19um 이다.
장비안내 본 연구실에서는 원자탐침형 현미경을 단독적인 목적으로만 사용하지 않고 소자의 결정성을 분석할 때 사용하는 엑스레이 분석장비와 더불어서 동시에 사용한다. 이때 소자를 움직이는 스캐너의 크기가 작아질 수록 공간적으로 측정의 이점이 크게 높아지는데 본 장비는 스캐너의 크기가 일반적으로 사용되는 크기보다 상당히 작기 때문에 복합적인 측정을 단번에 할 수 있도록 가능케 하는 이점이 있다.

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