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이빔증착기

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e-beam evaporator

  • 모델명 KVE-C25097
  • 제조사 코리아바큠테크㈜
  • 장비용도 생산
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 전자빔증착기

상세정보

구축일자 2012-12-26
납품업체 코리아바큠테크㈜
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 첨단과기로 123 광주과학기술원 기전 F4층 401
구성및성능 Process Chamber, Loadlock Chamber Unit (R/P BASE), Vacuum Pumping Unit, Vacuum Gauge Controller, E-beam Source & 6kW Power Supply Unit
장비안내 이빔을 이용하여 박막을 형성해 주는 장비로서 내부 청결상태 유지 및 고진공을 유지가 필요하다. 금속에 전자빔으로 가열하여 금속을 녹인 다음에 증발하는 금속 입자 소자의 전면에 부착시켜서 금속 전극 패턴을 만드는데 사용된다.

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