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공동활용 연구장비

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증착기를 포함한 글로브박스

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Thermal Evaporator & Multi glove box

  • 모델명 Thermal Evaporator
  • 제조사 우성하이백
  • 장비용도 분석
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 열증착기

상세정보

구축일자 2013-02-27
납품업체 우성하이백
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 신재생에너지연구소 F4 417
구성및성능 A. Process chamber
- Dimension : φ450 x 500H (Front rectangular door)
- Material : STS304
- Substrate holder
Heating : Max 900℃
Rotation & Tilt : 0 ~ 50RPM
- Boat for metal
- Temp control ±1℃/ max 1200℃
- Vacuum pumping port : 8"dia screen mesh
- Glove box gas(ArN2) vent valve

B. Vacuum pumping unit
- Cryo pump : 1000ℓ/sec
- Scrol pump : 300ℓ/min
- Vacuum valve : ISO100 angle valve
- Vacuum valve : 1"Angel valve (Metal seal type)
- Piping : STS NW40 flexible tubing
- Vacuum gauge : Full range gauge
- Full automatic pumping process control system by PLC

C. Power supply & system controller
- Power supply accurancy : ±0.1V
- Cross-contamaination shields

D. System control
- Interlock system for cooling water & over current
- Semi auto control system
- 19"rack
- Glove box frame 사용

E. Thin film deposition controller
- 1A/sec rate resolution
- 1A thickness resolution
- RS 232 Data logging
- Six measurements channels
- Output signal shutt
장비안내 금속이나 산화물반도체 등을 열 에너지로 증착시켜 박막을 형성하는 장비다. 또한 인쇄 전자소자의 주 재료가 되는 유기물은 산소나 수분에 민감하게 반응하여 전기적 성질이 저하되는 현상이 있어 소자를 inert gas 분위기 하에서 제작해야만 하는데 질소로 충진된 glove box내에 증착기를 장착함으로 안정성있는 소자를 제작할 수 있다.

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