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공동활용 연구장비

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열 증착기 시스템

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Thermal evaporator system

  • 모델명 모델명 없음
  • 제조사 우성하이백
  • 장비용도 시험
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 열유체장비 > 글로브박스

상세정보

구축일자 2013-03-21
납품업체 우성하이백
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 신소재공학동 F2 210
구성및성능 A. Process Chamber : Ball jar type chamber
2 port evaporation type
Dimension : Dia 300 x 450H
Material : Stainless steel 304
Boat Tungsten 0.5T x 10 x 100 x 2port
B. Vacuum pumping unit : Turbo Pump : 300ℓ/sec 4" inlet dia
Mechenical pump : R.P 200L/min
Vacuum gauge : high vacuum 1ch(ionization)
C. Power supply & System controller
D. System control : Interlock system for cooling water & over current
E. System frame & utility panel : 냉각수 manifolder, 압축공기 unit 설치
F. Thickness moniter : STM 100 modep
G. 전원 : 220V 삼상 30Kw
장비안내 금속을 고온으로 가열하여 증발시켜 그 증기로 금속 박막을 증착시키는 시스템
열증착기는 PVD(Physical Vapor Deposition) 일종으로 고진공 상태에서 보트에 열을 가해
증착하려는 금속물질을 녹여 기체상으로 만들면 기체상의 증착물질이 피증착물 표면에 부착되어 박막을 형성한다. 따라서 증착을 위해서는 진공기(Chamber)와 증착될 물질(Target)과 증착시킬 물질-피증착물(Substrate) 그리고, target을 가열할 히터(Source)가 필요함

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