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공동활용 연구장비

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주사전자현미경

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Scanning Electron Microscope

  • 모델명 VEGA3 SBH
  • 제조사 TESCAN, sro
  • 장비용도 시험
  • 장비구분 광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경

상세정보

구축일자 2013-04-08
납품업체 TESCAN, sro
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 금호연구관 B1층
구성및성능 1. The microscope with a Tungsten electron source forms of high quality has to do fully PC controlled Scanning Electron Microscope.
2. A fully automatic turbo molecular pumped vacuum system has quick and easy achievement of a clean working vacuum.
3. As a result of the high quality digital image acquisition and processing system have flicker-free imaging with super clarity and brilliance.
4. The microscope has fast and precise motorized specimen stages.
5. Comprehensive software is for image archiving processing evaluation and network operations comes as standard.
6. Nano Probe compatibility possible
장비안내 일반광학현미경으로 관측이 어려운 시료의 미세영역을 고배율50만배이상(최고 100만배)으로 확대하여 표면구조 및 형태를 확인할 수 있어 모든 과학 분야의 재료 및 제품에 대한 연구개발과 품질관리 향상에 필수적인 기기이다. 이 주사전자현미경(SEM)은 전자총에서 방출된 전자빔을 집속시켜 시료표면의 관찰영역에 조사할 때 시료표면에서 발생되는 각종 정보들을 검출기를 이용하여 검출한 다음 LCD로 영상을 표시하는 기능을 있다.
또한 최저 배율은 4배까지 관찰가능하며 경통에 IML렌즈가 있어 TEM(투과전자현미경)
같은 Beam tilt등의 기능이 가능하다.
시료 표면에 실시간 3차원(Real 3D reconstruction) image 관찰이 가능하다.
추가적인 nano probe 장비를 토대로 in-situ 상태의 SEM을 통하여 micro size의 소자에서 전기적 측정과 동시에 소자의 상태변화를 직접 관찰 할 수 있다.

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