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장비사진

4인치 전자빔 증발장치

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4 inch ebeam evaporating system

  • 모델명 모델명 없음
  • 제조사 에스엔텍
  • 장비용도 교육
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 전자빔증착기

상세정보

구축일자 2012-09-13
납품업체 에스엔텍
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 신소재공학동 F3 307
구성및성능 E-beam evaporation 공정을 진행하는 part로 sample loading part, E-beam crucible, thermal sensor, thickness sensor, shutter 등으로 구성되어 있습니다.
장비안내 규격(성능 및 사양):
E-beam evaporation 공정을 진행하는 part로 sample loading part, E-beam crucible, thermal sensor, thickness sensor, shutter 등으로 구성되어 있습니다. 용도: 본 e-beam evaporator 시스템은 반도체 소자 및 전자소자의 전극을 형성하는데 사용되는 박막 증착장비로서 소자 제작에 있어 가장 기초적인 장비입니다. 본 장비는 대면적의 소자를 제작에 용이하도록 설계되어 있는 장비 입니다. 또한 두께 모니터링 시스템을 포함하기 때문에 angstrom (10-10 m) 단위까지 두께조절이 가능합니다. 기타 참고사항(기대효과 등):
1. 4 inch scale의 대면적 박막 증착이 가능
2. 고 진공 공정으로 불순물을 제거함으로 실험의 신뢰성을 높임.

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