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공동활용 연구장비

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진공챔버 I-V특성분석 프로빙 시스템

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Vacuum Chamber Analyze triaxial I-V measure probing system

  • 모델명 MST-6000
  • 제조사 엠에스테크
  • 장비용도 시험
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 프로브스테이션

상세정보

구축일자 2012-10-16
납품업체 엠에스테크
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 신소재공학동 F2 203
구성및성능 이 물품을 이용하여 디바이스 특성을 검사하는데 사용된다.
상기 장비는 일반적으로 반도체 제조회사의 분석실이나 일반연구소 및 대학의 반도체 소자 실험실에서 널리 사용되고 있다
장비안내 상기물품은 Vacuum Chamber에서 디바이스의 전기적 물성 및 특성을 특정하는 고정밀급 Probing 시스템이다.
디바이스의 동작 전압측정, 동작 전류측정, 누설전류측정, 브레이크 다운 전압측정, 전도도 및 저항측정, 디바이스 수명예측, Hot Carrier Test 등 다양한 파라메터를 측정하는 장비와 같이 연결하여 디바이스와 직접적으로 Contact하여 미세 신호를 측정장비에 전달해 주는 시스템이다.

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