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반도체특성분석시스템

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Semiconductor CharacterizationSystem Technical Data

  • 모델명 4200-SCS
  • 제조사 Keithley Instruments
  • 장비용도 시험
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 프로브스테이션

상세정보

구축일자 2012-01-06
납품업체 Keithley Instruments
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 신소재공학동 F2 204호
구성및성능 반도체 소자의 전기적 물성 연구는 안정적으로 다양한 전압을 소자에 공급하고 공급된 전압에 따른 소자의 반응을 전류나 전도도의 형태로 측정하는 방식으로 진행된다. 이 장비를 사용함으로써 1) 안정되고 믿을 수 있는 입력값을 소자에 공급하고 2) 그에 따른 소자의 반응을 미세단위까지 측정함으로써 3) 보다 정밀도 높은 실험을 할 수 있는 환경을 구성할 수 있다. 또한 4) ultra-fast I-V module을 추가함으로써 추가적인 excitation이 있을 때의 소자의 반응을 연구할 수 있게 되어 측정의 자유도를 올리고 더 나아가 소자의 활용도를 증대시킬 수 있을 것으로 기대된다.
장비안내 Semiconductor characterization system은 기판 위에 혹은 회로 위에 완성된 소자의 전기적 특성을 다양한 전기적 조건 하에서 측정하는데 사용되는 장비로써 전극이 연결된 형태의 소자나 혹은 probe station을 통해 연결되는 소자의 전기적 물성 연구에 중요한 장비이다. 이 계측 장비는 반도체 소자 물성의 가장 기본적인 측정 방법 중 하나인 전류-전압 간의 상관관계 또는 전압에 따른 전기 전도도를 측정하고 확보된 data의 처리를 수월히 할 수 있도록 설계되었기 때문에 많은 수의 반도체 소자를 제작하고 이들의 물성을 연구하여 통계적 트랜드를 연구하는데 있어서 매우 중요한 장비이다.

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