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공동활용 연구장비

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고출력 펄스 엑시머 레이저 발생장치

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High-Pulse Energy Excimer Laser

  • 모델명 COMPexPro 205F
  • 제조사 Coherent
  • 장비용도 분석
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 결정화장비

상세정보

구축일자 2012-04-10
납품업체 Coherent
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 금호연구관 F2 204
구성및성능 KrF gas source
wave length = 248 nm
maximum pulse energy = 700 mJ
maximum average power = 30 W
maximum repetition rate = 50 Hz
pulse duration = 25 ns
energy stability = 1 % (1 sigma)
beam dimension = 24 x 10 mm 2

PLD 시스템 및 레이저 어닐 시스템과 함께 구성되어 있는 레이저 발생장치 각 시스템과는 각종 mirror를 이용하여 레이저의
발진 방향을 조정하여 연계하였고 한 번에 한가지 시스템과 연계하여 사용가능
장비안내 Pulsed KrF excimer laser generator
PLD 시스템 및 레이저 어닐 시스템과 함께 구성되어 있는 레이저 발생장치 각 시스템과는 각종 mirror를 이용하여 레이저의
발진 방향을 조정하여 연계하였고 한 번에 한가지 시스템과 연계하여 사용가능

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