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공동활용 연구장비

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반도체특성분석시스템

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Semiconductor Characterization System

  • 모델명 4200-SCS/F
  • 제조사 Keithley Instruments
  • 장비용도 시험
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 프로브스테이션

상세정보

구축일자 2012-04-06
납품업체 Keithley Instruments
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 신소재공학동 F2 204호
구성및성능 이 물품을 이용하여 웨이퍼 또는 완성된 디바이스 상태의 반도체에 5 microV - 200V범위 전압 공급과1.5fA 1A범위의 전류공급이 가능하며 1uV(10-6V) 정밀도의 전압측정과 옵션품목인 4200-PA를 장착하여 전류 측정 기능의 확장을 통하여 100aA(10-18A)정밀도의 저전류 측정이 가능하다. 또한 4210-CVU를 장착하여 1kHz에서 10MHz의 신호를 공급하여 측정을 할 수 있으며 이때의 신호는 10mV에서 100mV rms가 가능하다. 또한 +/- 30V의 정전압 바이어스를 공급하여 CV를 측정할 수 있다.
뿐만 아니라 부가적인 기능으로 반도체의 특성 측정에 관련된 외부기기 즉 Probe Station Pulse Generator 스위칭 시스템등을 제어하는 기능이 있어 모든 반도체 소자 개발 및 분석이 가능하게 한다.
장비안내 상기 물품은 반도체의 웨이퍼 상태 및 디바이스 상태에서의 전기적 물성 및 특성 측정(I-V 측정)을 하는 고정밀급 반도체용 측정장비로서 반도체의 동작 전압측정 동작 전류측정 누설전류 측정 브레이크 다운 전압측정 전도도 및 저항측정 디바이스 수명예측 Hot Carrier Test 등 다양한 반도체 특성 분석을 위한 파라미터들을 측정할 수 있다.

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