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공동활용 연구장비

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탁상형 주사전자현미경

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Desktop Scanning Electron Microscope

  • 모델명 SNE-4500M
  • 제조사 쎄크(Sec)
  • 장비용도 시험
  • 장비구분 광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경

상세정보

구축일자 2012-05-21
납품업체 쎄크(Sec)
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 신소재공학동 F4 410
구성및성능 1) 분해능 : 가속전압 30Kv 에서 5㎚(SEI) 2) 배율 : 30x ~ 100000x 3) 영상 : 이차 전자 영상(SEI) 후방산란전자 영상(BSEI) 4) 가속전압 : 5kv ~ 40kV (25step) 6) 전자총 : 텅스텐 필라멘트 카트리지 교환 방식 7) 집속렌즈 : 마그네틱 코일형 2단 렌즈 8) 대물렌즈 : 마그네틱 코일형 1단 렌즈 9) 스테이지시스템 : 스테이지(X Y R Z T - 5축 시스템) - 이송거리 (X: 40㎜ Y: 40mm Rotation : 360° Z: 0~35mm T: 0~45° ) - 최대 시료 크기 : 80mm 최대 샘플 높이 : 35mm
10) 진공시스템 : 전 자동화 형태로 구성 (저 진공 + 고 진공 Dual System) - 초기진공 : Rotary Pump / 100Liters/min - 고진공 : Turbo Molecular Pump / 80Liters/sec
장비안내 1) 초소형 SEM으로써 공간의 설치환경 해소와 이동이 편리하며 사용이 간편함.
2) 최적의 운영환경을 단지 키보드와 마우스만을 이용함으로서 보다 쉽게 구성할 수 있음.
3) SEM의 분해능은 5.0nm임(가속전압 30kV Working distance 3mm)
4) 이미지 Scan후 곧바로 화면상에서 측정 및 분석이 가능하고 저장된 영상의 측정도 가능함.
5) 샘플의 이동 관찰시 초점과 배율의 흐트러짐이 없이 관찰이 가능.
6) BSE Detector 및 Low Vacuum 모드를 통하여 시료의 전처리(코팅)없이 손쉽게 영상구현
7) 저 진공에서 고진공 도달시간이 2분대이며 진공해제 시간이 30초 이내로 신속한 영상구현
8) 2차 전자(SE)와 후방산란전자(BSE) 디텍터가 함께 장착되어 있어 분석기법을 지니고 있음.

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