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공동활용 연구장비

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일립소미터

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Spectroscopic Ellipsometer

  • 모델명 Elli-SE
  • 제조사 엘립소테크놀러지
  • 장비용도 시험
  • 장비구분 광학/전자영상장비 > 광파발생/측정장비 > 타원계

상세정보

구축일자 2012-08-03
납품업체 엘립소테크놀러지
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 신소재공학동 F2 207
구성및성능 Wavelength range 380 nm~1000 nm (UV Option: 240 nm-1000 nm)
- Beam spot size ≥ 1.5 mm
- Measuring constants Film thickness n k vs λ
- Thickness range sub � ~ 10 μm (depends on film type)
- Number of layers Up to 10 layers (depends on film type)
- Throughput 10~15sec. per point (depends on film type)
- Option: High speed measurement 1.5sec. per point
- Repeatability (3σ) ± 0.3 � on 10 times measurement
- Providing features Refractive Index Extinction coefficient and optical band gap
장비안내 Film density and composition Material’s dielectrics function library User defined model capability Data import & export functions Extendable library

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