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대용량 터보 펌프 2

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Large capacity turbo molecular pump

  • 모델명 ATH2300M
  • 제조사 Alcatel-lucent
  • 장비용도 시험
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 열유체장비 > 펌프

상세정보

구축일자 2012-01-31
납품업체 Alcatel-lucent
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 극초단 광양자빔 특수연구동 F1 119
구성및성능 Inlet Flange: DN 250 ISO-F
Rotational Speed: 31000 RPM
Pumping Speed:
N2: 21000 l/s
He: 22000 l/s
H2: 12000 l/s
Compression Ratio:
N2: >109
He: 3 x 104
H2: 3 x 103
Ultimate Pressure: 4 x 10-9
Maximum Continuous Flow Rate: 2500 sccm
Maximum COntinuous Inlet Pressure: 0.15 mbar
Maximum Exhaust Pressure: 1.5 mbar
Maximum Heating Temperature: 75°C
Noise Level: 39 dBA
Vibration Level: 0.01 μm
Start-up Power: 650 W
Nominal Power: 350 W
Start-up Time: < 10 minutes
Height: 14.1" (358.5 mm)
Weight: 102 lbs. (46 kg)
Recommended Fore Pumps: ADP/ADS
Controller: ACT 2300 M
Power Supply: 200 - 240 V 50/60 Hz Single Phase
장비안내 대용량 챔버를 고진공으로 유지하기 위해 필요한 진공 펌프임.
다른 고진공 펌프에 비해 작동의 시작및 종료의 과정이 단순하고 시간이 적게 걸림.
빠르게 회전하는 터빈 형태의 날개로 진공 챔버 내에 남아 있는 원자 및 분자를 배출하여 고진공을 유지함.
약 40000 rpm의 고속으로 회전하는 회전자의 날개들이 그들의 영역으로 들어온 분자를 쳐 그 운동방향을 펌프의 배출구 쪽으로
향하게 함. 따라서 수소나 헬륨처럼 분자 열운동 속도가 큰 기체에 대한 배기속도는 떨어짐.
최종압력 10^-9 torr 이하 펌핑속도는 질소 기준으로 ATH 2300M 터보펌프는 1초당 2200 리터 이상임.
본 터보 펌프는 드라이 펌프와 같은 backing 펌프와 동시에 연결되어야 정상적인 동작이 가능함.

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