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플라즈마 세척기

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Plasma Cleaner

  • 모델명 VSP-88H
  • 제조사 비전세미콘
  • 장비용도 시험
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 트랙장비

상세정보

구축일자 2012-02-08
납품업체 비전세미콘
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 극초단 광양자빔 특수연구동 F1 116
구성및성능 - 진공 플라즈마 세척 시스템
- 대면적 390 mm 이상의 광학 소자의 비접촉 플라즈마 세정 가능
- 13.56 MHz 600 W RF generator
- Vaccum Pump : Oil pump with Booster Pump
- Chamber size : 580 mm x 530 mm x 580 mm
- System dimension : 1200 mm x 1850 mm x 1000 mm
장비안내

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