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공동활용 연구장비

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CIGS박막태양전지 제조공정시스템

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Fabrication system of CIGS thin film solar cells

  • 모델명 CIGS Co-Evaporator
  • 제조사 에스엔텍
  • 장비용도 시험
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 퍼니스

상세정보

구축일자 2012-02-08
납품업체 에스엔텍
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 신재생에너지연구소 F2 201
구성및성능
장비안내 본 시스템은 투명전극 소자(ZnO Mo) 증착이 가능한 Sputter Al 그리드전극 증착용 E-Beam Evaporator CIGS 광흡수층 증착용으로 사용되는 Co-Evaporator 열처리용 RTP 및 Selenium 화 하는 Selenization RTP 로 구성이 된다.
이를 바탕으로 고효율의 CIGS 태양광 소자를 제작하고 이에 대한 특성을 평가하여 가장 효율적인 물질 구조를 발견 및 개발하는 연구를 수행하고자 한다.
CIGS 제조공정시스템은 고효율/대면적화 CIGS 태양전지 개발을 위한 요소 공정 일원화된 연구기반을 확보함으로써 고품질의 흡수층부터 단위소자 미니모듈까지 제조할 수 있어 최근 emerging market에 진입하고 있는 CIGS 박막 태양전지의 우수한 기술력을 선점할 수 있을 것으로 기대된다.