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공동활용 연구장비

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열증착기

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Thermal evaporator system

  • 모델명 GVTE-1000
  • 제조사 지브이텍
  • 장비용도 생산
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 열증착기

상세정보

구축일자 2011-12-14
납품업체 지브이텍
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 신소재공학동 F2 210
구성및성능 1. Main chamber
- Size :Optimum size for 4" sample Rectangular Type, Front Door
-Ultimate Pressure 5X10-6 torr -Thermal Source for Metal & Organic
2.Pumping
- LN2 Trap Installed - Main pump : Diffusion pump 4" (400L/sec)
- Back pump : Rotary vane pump(200L/Min)
- 4" Port adaptor with NW 40 Angle Valve
-Vacuum measurement part, 1set
Vacuum Gauge controller with 1 Ion gauge, 2 TC gauge
3. Thin Film Thickness/Rate Deposition Monitor
-Monitor M/N STM-100 -Sensor Package 932-000
-Vacuum Feedthroughs P/N 930-002 -Power : AC 220V/60Hz
4. Substate Assembly
-temp range : about 0~ 200 °C -PID Control
-Heating element :Catridge type -No Rotation
5.System frame & control panel unit
-SS41 Rectangular pipe, panted -Footmaster GD80F, 4ea
-Control panel -Main power : 220VAC/ 60Hz / 15A / 1P
-Air : 5~7kgf/cm2 -Water : 2~3kgf/cm2 -Engineers will carry out installation
장비안내 사업명: 일반연구자(기본연구지원:유형1)
연구비관리: 교과부소관연구개발사업처리규정
과제번호: 20110022728
사업년도: 2011
과제 책임자: 윤명한
위탁기관: 한국연구재단
연구과제명: 고성능 신경 인터페이스를 위한 3차원 나노전극의 개발과 세포내 신경흥분유도 기착의 연구
연구기간: 2011.09.01~2012.08.31

열증착기는 고진공상태에서 금속또는 고분자물질을 박막으로 증착할 수 있는 시스템으로
10-5 이상의 고진공을 diffusion 펌프를 통해서 유지시킬수 있으며 Au, Ag 와 같은 금속을 텅스텐 보트에 넣어 증착시킬 수 있다. 특히 나노전극을 개발하는데 있어서 필요한 전도성 금속의 전극 패턴을 만들때 이용가능하며
그밖에 전자 디바이스를 만드는 과정에서도 사용 될 수 있다.

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