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공동활용 연구장비

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원자층 증착 장비

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ALD

  • 모델명 Lucida D100
  • 제조사 (주)엔씨디
  • 장비용도 시험
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 원자층증착장비

상세정보

구축일자 2011-06-13
납품업체 (주)엔씨디
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 신소재공학동 F2 207
구성및성능 Graphene 소자 제작 과정 중 상부 전극 형성 전 Graphene과 전극과의 절연과 Graphene channel영역을 대기와의 접촉으로부터 차단시키는데 필요한 에 필요한 oxide층을 형성 시키는데 필요한 원자층 증착장비임.

1. System description : Atomic Layer Deposition System
2. Process chamber module
3. Gas delivery module
4. Frame module
5. System control & operation module
장비안내

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