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AJA 스퍼터 시스템

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AJA Sputter system

  • 모델명 ATC-2200
  • 제조사 Aja International
  • 장비용도 생산
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 스퍼터

상세정보

구축일자 2011-03-25
납품업체 Aja International
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 신소재공학동 F3 304호
구성및성능 성능
- Deposition uniformity : better than +/-1.5% over a 4” diameter wafer - 5mm edge exclusion with SiO2 or TIN (measured optically with AJA reflectometer)
- Base Vacuum : better than or equal to 9.9 x 10-9 Torr with pumping system 구성
1) Vacuum Pumping consisting of:
- CTI-8 ONBOARD 10”CF cryopump
- Roughing / regen valving
- 1200 l/s turbopump
2) Magnetron Sputtering Sources
3) AJA International 750 Watt DC generator(s) with integral 4-way switchbox and cable set Automated 3-way RF switchbox
4) Vacuum Gauge Package
5) Substrate Holder
6) Gas handling
7) Pressure Control / Vaccum Valve
8) Load-lock and Load-lock cassette
9) Computer control system
장비안내 UHV 마그네트론 스퍼터

특징
- 박막증착장비로 각기 다른 타겟을 이용하여 합금, 단층 혹은 다층 박막을 형성할 수 있다.
- 850도까지 기판의 온도를 올릴 수 있다.
- 기타 기본적인 특성 및 사용예는 다른 스퍼터 장비와 같다.

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