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전자주사현미경용고해상도카메라

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High Resolution Camera for TEM : PART(II)

  • 모델명 JEM-2100F
  • 제조사 Jeol
  • 장비용도 시험
  • 장비구분 광학/전자영상장비 > 현미경 > 투과전자현미경

상세정보

구축일자 2006-03-28
납품업체 Jeol
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 환경공학동 F1층 111
구성및성능 Electron Gun : 80 - 200㎸ FEG
Resolution : Point in TEM Mode 0.23㎚
Lattice in TEM Mode 0.1nm
Objective Lens : Focal length 2.3㎜
Magnification : MAG Mode × 1500 ～ 1500000
Low MAG Mode × 50 ～ 1500
Specimen tilt : ±35°/±30°(X/Y)
STEM Mode : Lattice Resolution 0.2㎚
Magnification × 10000000
BF and HAADF detector
CCD camera : 2K × 2K
Gatan Ultra Scan 1000
EDS : Oxford INCA
Resolution 30㎟ 127eV at Mn Kα
5B to 92U
Dimpler
Precision Ion Polishing System

가속전압 : 80~200KV
최고 분해능 : 0.1nm
기록장치 : CCD STEM (BF DF HAADF) EDS
시편지지대 : Single Tilting holder Double Tilting holder EDS Double Tilting holder
장비안내 전자주사현미경 용 고해상도 카메라이다.

- 요약
주사전자현미경은 전자선이 시료면 위를 주사(scanning)할 때 시료에서 발생되는 여러 가지 신호 중 그 발생확률이 가장 많은 이차전자(secondary electron) 또는 반사전자(back scattered electron)를 검출하는 것으로 대상 시료를 관찰한다

- 본문
전자현미경은 크게 투과전자현미경(Transmission Electron Microscope)과 주사전자현미경(Scanning Electron Microscope)으로 구분할 수 있다. 주사전자현미경에서는 주로 시료 표면의 정보를 얻을 수 있고 시료의 두께 크기 및 준비에 크게 제한을 받지 않는다. 주사전자현미경은 광학현미경에 비해 집점심도가 2배 이상 깊고 또한 광범위하게 집점을 맞출 수 있어 입체적인 상을 얻는 것이 가능하다. 투과전자현미경에서는 고에너지를 갖는 전자선이 전자 렌즈계를 거쳐 시료를 통과하여 형광판에 상을 맺게 한다. 따라서 그 시료는 관찰에 사용될 수 있도록 극히 얇아야 된다. 투과 전자현미경으로는 시료의 밀도 두께 등의 차이에 의한 명암(phase contrast) 상을 얻을 수 있다. 또한 시료에 도달하는 전자선을 회절시켜 회절상을 얻을 수 있으므로 원소내부의 정보도 얻을 수 있다. 투과형 전자현미경의 경우 주사형 전자현미경에 비해 그 구조가 복잡하고 운용이 쉽지 않은 점 가격이 비싼 점 등의 단점을 가지고 있다. 응용에 있어서 투과전자현미경은 금속 세라믹 반도체 고분자 합성체 등의 재료분야 의학 등의 생체시료 조직 관찰에 주로 사용되고 있으며 주사전자현미경은 광학 현미경의 영역에 포함되며 분석장비를 추가하여 분석장비로서의 영역도 확보해 나가고 있다.

- 원리
FE-TEM(JEM-2100F JEOL)은 200kV의 가속전압에서 발생된 전자빔을 나노물질이나 초박편(100nm 이하)으로 연마 또는 절편을 제작한 시료에 조사하여 투과 및 회절된 전자로부터 시료의 미세구조와 결정구조 분석. 전계방사형 투과전자현미경(FE-TEM)은 초미세 영역에 대한 구조 및 화학분석에 탁월한 성능을 지니며 영상 또는 회절패턴을 얻어 재료의 모양과 구조적인 정보와 EDS 검출기를 부착하여 미소부위의 성분분석까지 가능한 기기

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