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공동활용 연구장비

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반평행광 노광기

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Semi collimated Exposure (10KW)

  • 모델명 SME 10K-PSC
  • 제조사 (주)세명백트론
  • 장비용도 생산
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 리소그래픽장비

상세정보

구축일자 2010-10-11
납품업체 (주)세명백트론
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 333 (대촌동) 958-3 (재)광주테크노파크 사업화3동 F1 103호
구성및성능 1330*2600*2100(wdh)/510*610제품 유효size/조도50um /장비 입사각도30도
* 제품의 해상도 60~70um구현(pattem)
* 조도분포도 85%
* 셔터개페방식 360도회전
* 냉각방식 공랭식구조
* 전기 380/220v
* 전력 30kw
* 제품유효size 510*610
* 조도 50mw
* 장비 입사각도30도

Main System
* Light Source : MTL Halide UV Lamp - 10KW
* Cooling System : 공냉식+실외기 (7.5RT)
* Valid Exposure Width : 500*400
* Reflector : 조도 및 조도율 (45mw / 85%이상)
* 1330*2600*2100(무게 1200kg)
* 전기 380/220/3상(380v추천 전기소모량 등)
* 전력 30kw
장비안내 인쇄회로기판(PCB) 패턴을 드라이필름에 형성하기위한 자외선 노광기로 60~80um의 패턴을 형성할 수있고 감광잉크(PSR)의 노광 작업시 400mj의 광량에서 소요시간 6Sec 이내에 작업이 가능함.
* 고효율의 UV Flux와 High Level의 Beam Unifomity 달성으로 작업 효율이 향상
* UV Beam or Ray 의 Semi Collimation의 실현으로 효율적인 Fine Pattem을 현상
* 외장 SUS
* 내층 :60~80 ㎛ 구현
* Collimations Angle 22' - 32'
* 후레임 자동 계폐 방식

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