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공동활용 연구장비

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탐침(원자간력) 현미경

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Scanning Probe Microscope(AFM)

  • 모델명 XE-100
  • 제조사 ㈜파크시스템스
  • 장비용도 계측
  • 장비구분 광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사탐침현미경

상세정보

구축일자 2003-12-17
납품업체 ㈜파크시스템스
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 광주과학기술원 전기전자컴퓨터공학동 F1 108
구성및성능 구성하는 요소로는 현미경과 controller 탐침 컴퓨터입니다. 해상도는 약 10 옹스트롱 정도로 최대 50 마이크로미터의 정사각형 모양까지 측정가능하며 깊이는 1.2 마이크로 미터까지 측정할 수 있습니다. 탐침 종료로는 non contact mode 와 contact mode 로 나눌 수 있고 용도에 따라 맞는 탐침을 사용해야 합니다.
장비안내 분자간력을 이용하여 반도체 표면을 전자현미경보다 더 좋은 해상도로 볼 수 있는 장비로써 높은 수준의 해상도를 요구하는 실험에서는 꼭 필요로 하는 장비입니다. 반도체 표면 위에 탐침을 위치시키고 분자간의 차이로 인한 탐침의 움직임을 컴퓨터로 분석함으로써 표면을 가시화할 수 있습니다.

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