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공동활용 연구장비

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프로브스테이션

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Probe Station

  • 모델명 Summit 11751B
  • 제조사 Cascade Microtech
  • 장비용도 계측
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 프로브스테이션

상세정보

구축일자 2007-01-03
납품업체 Cascade Microtech
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 신소재공학동 F1 104호
구성및성능 규격(성능 및 사양) : 1 sets of 8inch maian body
- Probe noise + Leakage should be less than 1fA on normal and 10fA on Thermal in ON
- Chuck noise + Leakage should be less than 1fA on normal and 50fA on Thermal is ON 2. Dimensions - Station: 76 cm (W) x 68 cm (D) (30 in. x 27 in.) - Typical height to eyepieces: 58 cm (23 in.) - Net weight: 165 kg (360 lb.) 용도: 본 물품은 반도체소자 또는 웨이퍼의 전기적인 특성을 측정/연구하기 위하여 사용되는 탐침장비
(Probe Station)로서 반도체연구에 있어 가장 기초적인 장비입니다.
본 장비는 아주 미세한 전류도 측정할 수 있도록 설계되었으며 온도변화에 따른 측정도 가능하
도록 제작된 것입니다.

1. 8 inch 까지의 Wafer 측정이 가능
2. Low Current의 측정이 가능
3. 온도 Test 가능
4. Test Reliability 증대
장비안내

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