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공동활용 연구장비

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반도체 소자 분석기

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Semiconductor Device Analyzer

  • 모델명 B1500A
  • 제조사 Agilent Technologies
  • 장비용도 시험
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 프로브스테이션

상세정보

구축일자 2007-02-23
납품업체 Agilent Technologies
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 신소재공학동 F1 104호
구성및성능
장비안내 1. Perform IV and CV measurements
2. Up to 10 module slot offer measurement flex -ibility
3. This instrument has a measurement perform -ance with available low-current measurement 0.1 femtoamp and low-voltage measurement res -olution of 0.5 microvolts
4. High-speed ADC present on each installed SMU 용도 Semiconductor Device Analzyer는 Femto level의 Ampere까지 반도체 소자의 DC 특성을 분석하여 IV Parameter를 추출하고 5MHz까지의 Capacitance특성을 분석하여 CV Parameter 값을 추출하는 장비로서 0.1 fA？？지의 Low current measurement가 가능하고 0.5V의 낮은전압측정 분해능을 제공하여 반도체 연구 개발분야에서는 반드시 필요한 장비이다

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