Research Hub

대학 자원

대학 인프라와 자원을 공유해 공동 연구와 기술 활용을 지원합니다.

공동활용 연구장비

장비사진

스퍼터 시스템 업그레이드

상담·문의하기

Sputter System Upgrade

  • 모델명 AMS-0203
  • 제조사 Cliotekm
  • 장비용도 교육
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 스퍼터

상세정보

구축일자 2010-10-11
납품업체 Cliotekm
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 정보통신 A동 F1 108
구성및성능 구성및성능
1. Magnetron Sputtering Source with shutter
2. Vacuum Processing Chamber
3. Vacuum Pumping Unit
4. Substrate Rotation & Heating & Z-Motion Module
5. System Controller & Vacuum Gauge Controller
6. DC & RF Power Supply
장비안내 특징
electrode의 구조를 새롭게 디자인해서 생성된 플라즈마가 샘플에 도달하지 않도록 설계함으로써 샘플에 플라즈마 데미지를 최소화할 수 있다. 또한 저온에서 공정이 타 장비에 비해 유리하고 박막의 손상을 줄일 수 있으며 플라스틱 기판 위에 산화물 반도체를 성장하는데 사용하기 적합하다.

목록보기