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공동활용 연구장비

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고온용 3존 튜브전기로

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HIGH TEMP 3 ZONE TUBE FURNACE

  • 모델명 MS CVD System
  • 제조사 명성과학공사
  • 장비용도 분석
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 퍼니스

상세정보

구축일자 2010-12-27
납품업체 명성과학공사
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 신재생에너지연구소 F2 214
구성및성능
장비안내 상기 품명의 기기는 솔라연구 그래핀 소재합성을 위한 기기이다. 최고 사용온도는 1500.0℃ 이며 온도는 0.1℃ 분해 능력을 갖추고 온도 controller는 program 패턴이 30개이상 설정 0.3℃ 이하의 편차로 제어
가열부는 3 zone으로 zone 당 200mm이상 형성 온도 기울기가 zone 별로 각각 조절이 되며 uniform zone 내의 상하 좌우 온도 편차가 1℃이내 Tube는 india100mm outdia108mm 길이1500mm를 장착하며 Tube 내에는 CH4ArH2 O2 가스분위기가 쉽게 절환 ～100torr 미진공 상태를 자동 조절할수 있는 pumping system으로 조절 tube 내에는 10-3torr 에 도달 분위기 Gas control은 Readout는 digital 6channel 이며 각Mfc는 scale이 1000sccm 로 장착 진공line은 NW40과 1/4" SUS line Rotary pump는 200L/min 이상 PRESSURE CONTOLLER는 BARATRON 1 READINGTHROTTLE VALVE 1CHANNEL MT-2000를 장착하고 CAPACITANCE MANOMETER:626B01TQE NW25KF를 장착하고 THROTTLE VALVE 는 PK264A1-SG36 를 ·장착 되어 실험에 활용 할 수 있어 아주 유용한 기능임

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