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공동활용 연구장비

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저온 측정용 프로브 스테이션

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Vacuum Probe Station

  • 모델명 OmniProbe
  • 제조사 우신크라이오백
  • 장비용도 시험
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 프로브스테이션

상세정보

구축일자 2010-09-17
납품업체 우신크라이오백
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 신소재공학동 F2 204
구성및성능
장비안내 본 장비는 극저온 진공 6프로브 스테이션 장비로 반도체 샘플의 특성 평가를 여러 방면으로 할 수 있는 장비이다. 본 장비를 이용하여 온도 바이어스 진공도 가스 등에 따른 샘플의 특성변화를 측정 할 수 있는 장비로서 반도체 샘플이나 초소형 샘플의 특성을 측정 할 수 있는 다용도 장비 이다. Optical table을 사용함으로서 주변의 진동을 막아 줄 수 있고 Microscope와 CCD camera의 사용으로 초소형 샘플측정도 가능하다. 또한 진공상태 내(진공도 10-7 torr)에서 실험 이므로 온도변화를 더욱 효율적으로 만들고 온도 변화시 샘플의 Damage또한 방지 할 수 있다. 70K에서 500K 범위의 온도를 조절할 수 있는 controller가 있어 저온 및 고온 테스트에 적용하기 용이한 장비이다.

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