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공동활용 연구장비

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E-Beam 증발기

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E-Beam Evaporator

  • 모델명 BJD-1800
  • 제조사 Edwards
  • 장비용도 시험
  • 장비구분 전기/전자장비 > 달리분류되지않는전기/전자장비

상세정보

구축일자 1998-04-02
납품업체 Edwards
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 정보통신공학부 A동 1층 108호 광주과학기술원 정보통신공학부 A동 F1 108
구성및성능 Specification
Lift off dome
4” 6” 8” wafer
Max. 5ea
Base pressure : 8E-6 Torr
Source Au Al Ti SiO2 Cr Cu
장비안내 wafer size : 4 ~ 8inch wafer
wafer loading : 동일 wafer 및 개별 size wafer MAX 5EA (4inch: 5EA 6inch: 5EA
8inch: 5EA
Lift off 공정을 위한 dome 형대의 회전용 기판 홀더
step coverage공정을 위한 회전용 기판 홀더
Substrate heating : max 350 도
E-beam power : ~10kW
Source : SiO2 Ti Cu Au Ni Al Cr
Uniformity : ± 5%

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