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공동활용 연구장비

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표면단자측정기

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Surface Profilometer

  • 모델명 NanoMap LS
  • 제조사 Aep
  • 장비용도 시험
  • 장비구분 물리적측정장비 > 길이/위치/자세측정장비 > 위치/자세측정장비

상세정보

구축일자 2010-12-27
납품업체 Aep
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 신재생에너지연구동 광주과학기술원 신재생에너지연구동 F5 502
구성및성능 장비는 Sample 표면의 형상 특히 단차(두께) 및 거칠기 등을 측정하고 기록하는 장치로 높은 정밀성과 재현성을 등을 요구하는 정밀 측정 분야나 연구용으로 많이 사용되고 있는 표면 단차(두께) 측정기 이다.
또한 이 장비는 Piezo Scanner를 이용한 장비로 높은 정밀성과 재현성을 갖추고 있으며 Sample 표면의 형상을 3차원 형상화 할 수 있어 표면의 두께 및 거칠기 뿐만아니라 형상까지 볼 수 있는 우수한 성능의 표면단차 및 형상측정기이다.
장비안내 이 장비는 Sample 표면의 형상 특히 단차(두께) 및 거칠기 등을 측정하고 기록하는 장치로 높은 정밀성과 재현성을 등을 요구하는 정밀 측정 분야나 연구용으로 많이 사용되고 있는 표면 단차(두께) 측정기 이다.
또한 이 장비는 Piezo Scanner를 이용한 장비로 높은 정밀성과 재현성을 갖추고 있으며 Sample 표면의 형상을 3차원 형상화 할 수 있어 표면의 두께 및 거칠기 뿐만아니라 형상까지 볼 수 있는 우수한 성능의 표면단차 및 형상측정기이다.

a. 5Å의 재현성을 가지고 있는 우수한 성능의 단차측정기
b. 1Å의 Resolution과 Stage Tilting 기능 보유
c. 최대 524um 까지 측정 가능한 Vertical Range(Z)
d. 3-D Rendering S/W(SPIP) 탑재로 표면 형상 측정 가능
e. 100mm x 100mm Long Scan 측정 가능
f. 0.1mg~10mg까지 변환(Programmable) 가능한 Stylus Force Range로 Hard한 Film 뿐만아니라 Soft한 Film도 Sample의 손상이 없어 측정이 가능함

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