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공동활용 연구장비

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글로브 박스 및 열 증착기 시스템

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Glove Box & Thermal Evaporator system

  • 모델명 GVEV-2000
  • 제조사 지브이텍
  • 장비용도 분석
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 열증착기

상세정보

구축일자 2008-07-21
납품업체 지브이텍
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 고등광기술연구소 F3 306
구성및성능 Glove Box System

Demension : 2200L 1000D 900H
Materials : Stainless Steel
Anti chamber
Purifier : h2O O2 remove catalyst Thermal evaporator

Chamber : dia 400 x 500H
Vacuum : 400l/sec turbo pump
Thickness monitoe : 1A
Three thermal boat
장비안내

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