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공동활용 연구장비

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주사 탐침 현미경

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Scanning Probe Microscope

  • 모델명 XE-100
  • 제조사 ㈜파크시스템스
  • 장비용도 계측
  • 장비구분 광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사탐침현미경

상세정보

구축일자 2003-02-26
납품업체 ㈜파크시스템스
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 다산빌딩 F1층 105호
구성및성능
장비안내 아주 작은 탐침을 시료 표면에 접근시키고 시료표면을 따라 주사(?? ; scan)하면서 각 부위의 높낮이 및 여러 가지 물리적 특성을 나노 미터 단위로 측정하는 장치로서 AFM STM EFM MFM 등을 총징하는 광의(광의)의 원자 현미경이다. SPM은 아주 작은 탐침을 시료표면에 근접시키고 시료표면을 따라 주사하면서 각 지점에서 탐침에 의해 감지된 시료의 높낮이 및 각종 물리적 특성을 기록하여 영상화시키는 장치이다.
탐침의 종류 및 측정 방식에 따라 측정되는 특성이 다양하며 이를 다음과 같이 분류할 수 있다. 원자현미경의 큰 줄기는 STM (Scanning Tunneling Microscope)과 AFM(Atomic Force Microscope)으로 나뉘며 AFM은 다시 접촉식(C-AFM)과 비접촉식(NC-AFM)으로 나뉜다. STM의 파생 기법으로 STS(Scanning Tunneling Spectroscopy) 가 있다. STS는 전자의 상태밀도(density of states)와 같은 국소전자구조(local electronic structure)를 알아내는데 쓰인다.
접촉식 AFM의 파생 기법으로는시료이 마찰계수를 재는 LFM(Lateral Force Microscope)이 있으면 접촉식 AFM에 온도센서 전기용량센서를 부착시키면 각각 SThM(Scanning Thermal Microscope) SCM(Scanning Capacitance Microscope)이 된다.
비접촉식 AFM은 탐침이 달려 있는 캔틸레버를 일정한 주파수로 진동시키되 탐침이 시료를 전혀 접촉하지 않으면서 측정하는 진정한 의미에서의 비접촉모드 뿐만 아니라 탐침이 시료표면을 톡톡 쪼는 태핑보드(tapping mode) 그리고 아예 탐침이 시료표면에 접촉한 상태에서 탐침 또는 시료를 진동시키는 다이내믹 접촉모드(dynamic-contact mode)를 망라하기 때문에 근래에는 비접촉식 AFM이라고하기 보다 포괄적 의미를 갖는 DFM(Dynamic Force Microscope)이라고 부른다.
DFM의 파생기법으로 자기

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