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CIGS 태양전지용 스퍼터 시스템

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CIGS Sputtering system

  • 모델명 RSP-5003 series
  • 제조사 에스엔텍
  • 장비용도 시험
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 스퍼터

상세정보

구축일자 2010-09-17
납품업체 에스엔텍
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 신재생에너지연구소 F2 217
구성및성능 구성및성능
1) Sputtering system 1set
● 3 inch gun 4 EA
2) Loadlock chamber 1 set
3) Rapid thermal annealing chamber 1 set
● Se effusion cell 1EA
장비안내 특징
본 장비는 기존의 CIGS 태양전지 제작에 있어서 열적 동시증발법을 이용한 소자제작과는 달리 인라인 공정이나, 롤투롤 공정에 쉽게 적용가능하고, 설비 비용이 적게 소요되는 스퍼터링 방법에 있어서, 소자의 효율 향상 또한 확보할 수 있는 공정 장비라 할 수 있다. 본 하이브리드 마그네트론 스퍼터의 경우, 추가적인 Se deposition을 위한 후 공정을 하나의 chamber안에서 수행할 수 있도록 하향식 Se cracker를 결합함으로서 공정 속도를 향상 시키고, 더 좋은 막질의 CIGS 박막을 성장할 수 있다. 또한 본 장비를 이용하여, metal 증착이나, 산화물, 질화물, 황화물 등의 소재를 동시에 증착함으로서 CIGS 태양전지 이외에도 다양한 소재 및 소자 구조 개발이 이루어질 수 있을 것이다.

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