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대학 자원

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공동활용 연구장비

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RTA 시스템

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RTA SYSTEM KVR-4000

  • 모델명 KVR-4000
  • 제조사 코리아바큠테크㈜
  • 장비용도 기타
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 열유체장비 > 전기/소결로

상세정보

구축일자 2010-08-27
납품업체 코리아바큠테크㈜
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 정보통신 A동 F1 108
구성및성능 구성및성능
Rapid Thermal Annealing System KVR-4000
- Process Chamber
- Vacuum Pumping Unit(R/P base)
- Substrate Heating unit(without coolong)
- Gas Supply Unit(N2 O2)
- Frame & Control Unit
장비안내 특징
짧은 시간에 고온으로 온도를 올렸다 내릴 수 있게 하는 장치로 통상 반도체와 금속막사이의 저항을 줄이기 위한 Anealing 공정에 활용

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