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공동활용 연구장비

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클린공정시스템

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Wet Station System

  • 모델명 모델명 없음
  • 제조사 두리텍
  • 장비용도 분석
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 트랙장비

상세정보

구축일자 2010-09-17
납품업체 두리텍
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1번지 광주과학기술원 신소재공학부 F2 207호
구성및성능 구성및성능
메인바디
스테이션 모듈
울트라 퓨어 워터 시스템
워크 테이블
시스템 유틸리티
장비안내 특징
반도체 소자 제작 중 클리닝 공정 및 에칭 공정을 수행할 수 있는 장비