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공동활용 연구장비

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크라이오펌프와 기타유틸리티

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Cryopump and utility

  • 모델명 TORR 8, CRYO PUMP & 8300 COMPRESSOR
  • 제조사 코리아바큠테크㈜
  • 장비용도 기타
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 펌프/쿨링시스템

상세정보

구축일자 2010-08-23
납품업체 코리아바큠테크㈜
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) _ _ 정보통신공학부 A동 F1 108
구성및성능 크라이오펌프와 컴프레셔 및 컨트롤러로 구성되어 있으며 뒷단의 로터리 펌프와 연동된다.
장비안내 특징
진공장비인 E-beam evaporator의 펌핑을 하는 시스템과 그에 필요한 유틸리티

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