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공동활용 연구장비

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알곤레이저

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Innova 305 Argon laser

  • 모델명 Innova 305
  • 제조사 Coherent
  • 장비용도 계측
  • 장비구분 광학/전자영상장비 > 광파발생/측정장비 > 레이저발생장비

상세정보

구축일자 2008-10-28
납품업체 Coherent
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) _ _ 정보통신공학부 A동 F1 108
구성및성능 구성및성능
레이저 및 셔터와 각종 광학계로 구성되어 레이저 간섭이 샘플 표면에서 일어날 수 있도록 조절할 수 있음.
장비안내 특징
레이저의 간섭현상을 이용한 submicron-구조의 lithograpy 공정에 활용됨.