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공동활용 연구장비

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266nm 자외선 멀티 포커싱 및 비젼 시스템

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266nm UV multi focusing and vision system

  • 모델명 모델명 없음
  • 제조사 에스엠텍
  • 장비용도 기타
  • 장비구분 광학/전자영상장비 > 현미경 > 달리분류되지않는현미경

상세정보

구축일자 2009-12-16
납품업체 에스엠텍
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 고등광기술연구소 F1 101호
구성및성능 구성및성능
1.DUV Objective lens
- 50X
- focal length: 4mm
- working distance: 10mm
- Bandwidth: 266nm ~ 600nm
2. DUV Laser micro scope unit
- Zoom 6x ratio
- axial illumination adapter
- 258nm dicroic mirror with tilt adjust screw
3. Air spaced Triplet fosusing lens set for 266nm
4. kinematic Beam bender
- 2degree independent orthogonal mirror adjust
- 80 pitchg adjustment screw
5. High power Laser line mirror
- wavelength:266nm
- R: 99.8 at 266nm
-Damage threshold: 3J/CM
6. f =103mm telecentric f-theta lens
- a scan filed of approx. 50 X 50 mm
장비안내 특징
DUV 266nm multi focusing & vision system.
구성및성능
1.DUV Objective lens
- 50X
- focal length: 4mm
- working distance: 10mm
- Bandwidth: 266nm ~ 600nm
2. DUV Laser micro scope unit
- Zoom 6x ratio
- axial illumination adapter
- 258nm dicroic mirror with tilt adjust screw
3. Air spaced Triplet fosusing lens set for 266nm
4. kinematic Beam bender
- 2degree independent orthogonal mirror adjust
- 80 pitchg adjustment screw
5. High power Laser line mirror
- wavelength:266nm
- R: 99.8 at 266nm
-Damage threshold: 3J/CM
6. f =103mm telecentric f-theta lens
- a scan filed of approx. 50 X 50 mm

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