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공동활용 연구장비

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초정밀 레이저 가공용 워크스테이션

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workstation for precision laser micromaching

  • 모델명 모델명 없음
  • 제조사 바이크로닉스
  • 장비용도 기타
  • 장비구분 광학/전자영상장비 > 카메라/영상처리장비 > 기타특수카메라

상세정보

구축일자 2008-12-22
납품업체 바이크로닉스
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 고등광기술연구소 F1 101호
구성및성능 구성및성능
- XY Travel: 300mm x 300mm
- Z Travel: 100mm
- XY Position Accuracy: +/- 0.2um / full travel
- XY Repeatability: +/-1um / full travel
- Maximum Velocity: 200mm/sec
Resolution: 5 nanometer/count
- Velocity Ripple: +/-0.2% (@100mm/sec)
- M plan QPO NIR 10X objective lens
- Field of view: 200um
- Vision resolution: 1um
- XY Travel: 300mm x 300mm
- Z Travel: 100mm
- XY Position Accuracy: +/- 0.2um / full travel
- XY Repeatability: +/-1um / full travel
장비안내 특징
Laser micro-machning workstation
레이저 가공에 최적화된 워크스테이션.
구성및성능
- XY Travel: 300mm x 300mm
- Z Travel: 100mm
- XY Position Accuracy: +/- 0.2um / full travel
- XY Repeatability: +/-1um / full travel
- Maximum Velocity: 200mm/sec
Resolution: 5 nanometer/count
- Velocity Ripple: +/-0.2% (@100mm/sec)
- M plan QPO NIR 10X objective lens
- Field of view: 200um
- Vision resolution: 1um
- XY Travel: 300mm x 300mm
- Z Travel: 100mm
- XY Position Accuracy: +/- 0.2um / full travel
- XY Repeatability: +/-1um / full travel

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