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공동활용 연구장비

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전자현미경

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Scanning Electon Microscope

  • 모델명 CX-100S
  • 제조사 ㈜코샘
  • 장비용도 계측
  • 장비구분 광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경

상세정보

구축일자 2008-12-22
납품업체 ㈜코샘
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 고등광기술연구소 F1 102호
구성및성능 구성및성능
- Resolution: 3.5nm (30KV SE Image)
- Magnification: x30 ~ x300000
- Image: Secondary electron image(SEI)
- Accelerating voltage: 0.5KV ~ 30KV
- Electron gun: @(Tungsten)
- Objective: 4th portable aperture
- Image shift: +/-20um (WD: 5mm)
- Stage (5-axis)
- Specimen Size(Max): 160mm
- Scanning Mode: Photo screen capture mode II(2560 x 1920 pixel)
- Image format: JPG TIFF BMP
- Image Display: 19" LCD Monitor
- Automation
- Working Distance: 5 ~ 50mm
- Vacuum System: Fully Automation (Vacuum timing: in 5 mitute)
장비안내 특징
Scanning Electron Microscope.
구성및성능
- Resolution: 3.5nm (30KV SE Image)
- Magnification: x30 ~ x300000
- Image: Secondary electron image(SEI)
- Accelerating voltage: 0.5KV ~ 30KV
- Electron gun: @(Tungsten)
- Objective: 4th portable aperture
- Image shift: +/-20um (WD: 5mm)
- Stage (5-axis)
- Specimen Size(Max): 160mm
- Scanning Mode: Photo screen capture mode II(2560 x 1920 pixel)
- Image format: JPG TIFF BMP
- Image Display: 19" LCD Monitor
- Automation
- Working Distance: 5 ~ 50mm
- Vacuum System: Fully Automation (Vacuum timing: in 5 mitute)

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