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공동활용 연구장비

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크린 스크러버

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Clean scrubber dry bed absorber

  • 모델명 CS195SC
  • 제조사 Clean Air Engineering
  • 장비용도 분석
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 열유체장비 > 유체정화기

상세정보

구축일자 2002-09-12
납품업체 Clean Air Engineering
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 삼성환경과학연구동 F1 110호
구성및성능 밸브, 캐니스터, controller, GN2에서 불산기체 흡수
장비안내 특징
유해가스를 캐니스터에 통과시키면서 내부의 흡착제를 이용해 흡수

구성및성능
밸브, 캐니스터, controller, GN2에서 불산기체 흡수

활용분야
산화막 식각 장치에서 발생한 불산가스를 흡수