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공동활용 연구장비

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장비 내 실시간 CCD를 사용하는 엔드포인트 검출 시스템

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Real time & In-Situ CCD Based End Point Detection System

  • 모델명 EPD-2U
  • 제조사 쎄미시스코
  • 장비용도 분석
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 식각장비

상세정보

구축일자 2009-12-24
납품업체 쎄미시스코
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 다산빌딩 B1
구성및성능 구성및성능
-EPD-2U
- MCA with 2048 CCD sensing element array
- ADC with supporting electronics
- Industry Standard (2U) Rack Mounting Metallic case with Key Board Mouse Main control PCB Expansion slots
- Single Board Computer on back-plane with Standard Pentium processor 16GB SSD 160GB HDD 1xDVDRW 10/100 LAN card and Microsoft's Windows XPTM or Higher Operating System 2xUSB Ports
- Smart EPDTM End Point Detection Program : version 3.7 or higher
- Optical Fiber with Collimating Lens Assy
- Chamber Mounting Adapto
- USB kit
- Standard 15" LCD
- EPD Module for BOSCH Process Effect Solution

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장비안내 특징
EPD 시스템은 반도체 공정의 품질 향상을 위해 진공 장비 내에 설치하여 실시간으로 공정 상황을 관찰 할 수 있는 시스템이다.

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