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대학 자원

대학 인프라와 자원을 공유해 공동 연구와 기술 활용을 지원합니다.

공동활용 연구장비

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디지털 전자 현미경

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Digital microscope system

  • 모델명 VHX-600E
  • 제조사 Keyence
  • 장비용도 시험
  • 장비구분 광학/전자영상장비 > 현미경 > 디지털현미경

상세정보

구축일자 2009-08-18
납품업체 Keyence
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) _ _ 정보통신공학부 A동 F3 308
구성및성능 구성및성능

1. main unit 카메라 본체
2. lens & adapter 고배율 줌렌즈
3. stand
4. 전동 stage
5. software
6. calibration scale

사양
촬상소자 : 1/1.8인치 211만 화소 CCD이미지 센서
총화소 1688(H)X1248(V)
주사방식 : 프로그레시브
게인 : AUOT NORMAL 프리셋
장비안내 특징

반도체 소자를 위한 에피 성장 후 에피의 결함 상태 확인 및 반도체 소자의 미세 구조 공정 시 공정 상테를 디지털 현미경으로 관찰하여 정확한 소자 제작을 하기 위하여 사용함.

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