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공동활용 연구장비

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원자층 증착 장비

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ALD SYSTEM (Atomic Layer Deposition)

  • 모델명 Lucida D100
  • 제조사 (주)엔씨디
  • 장비용도 분석
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 원자층증착장비

상세정보

구축일자 2009-11-04
납품업체 (주)엔씨디
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 금호관 F2 204
구성및성능 구성및성능 :

1. Process chamber module
2. Gas delivery module
3. Frame module
장비안내

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