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공동활용 연구장비

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12인치 수동 측정 스테이션

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12inch Manual probe station

  • 모델명 MST-12000C
  • 제조사 엠에스테크
  • 장비용도 시험
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 프로브스테이션

상세정보

구축일자 2009-08-18
납품업체 엠에스테크
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 신소재공학동 F2 204
구성및성능 구성및성능
1. N2 Moisture Dark/shielding Measurement Probing System
2. Microscoope Micro Zoom 225X
3. Positioner body - High Resolution
4. Probe Holder Ctype
5. Probe tip
6. Vacuum pump
7. Dark/shiled Box Dual door
8. Hot chuck Controller and cooling chiller controller
장비안내 특징
반도체 나노 LCD LED MEMES 등 전기 전자회로의 미세한 회로에 전기를 인가하여 회로의 특성(전기적 전자적 물질적)등을 현미경 EYEPIECE 또는 CCD CAMERA MONITOR로 회로를 확인 후 정밀한 LOW NOISE PROBE HOLDER로 미세하게 CONTACT를 하여 전기적 측정을 할 수 있도록 해주는 측정기기임. 또한 측정하고자 하는 소자의 온도를 -50C- +200C까지 조절할 수 있도록 Chuck의 온도를 조절할 수 있음.

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